超純水是一種接近高純度的水,其純凈度是我們日常中喝的礦泉水的4000倍,不過也正因為它的“干凈”,它里面除了水分子外,幾乎沒有什么雜質存在...(也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水)。它沒有細菌、病毒,當然也沒有人體所需的礦物質微量元素,所以看似純凈,卻并不適合飲用,而且超純水在自然界中基本是不存在的,想要獲取需要經過一系列復雜的高科技工藝,才能生產制造出這種水。
超純水是一般工藝很難達到的程度,采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四大步驟,多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法,電阻率方可達18.25MΩ*cm。
預處理
包括砂濾、多介質過濾、軟化、加氯、調節pH、活性碳過濾、脫氣等。過濾可除去1~20微米大小的顆粒,軟化和調節pH可防止反滲透膜結垢,加氯是為了殺菌。
脫鹽
反滲透是滲透現象的逆過程,在濃溶液上加壓力,使溶劑從濃溶液一側通過半透膜向稀溶液一側反向滲透,脫鹽可達98%,并能除去99%的細菌顆粒和溶解在水中的有機物。
精處理
超濾是把各種選擇性的分子分離。在超濾過程中,水在壓力下流過一個卷式或中空纖維膜棒。膜孔徑在10~200埃范圍內,薄膜厚度為0.1~0.5微米,附在一個中孔的纖維棒內壁上,超濾能除去細菌和0.05微米的粒子。
如此復雜工藝生產出來的“超純水”,在半導體行業如今正在如火如荼的應用著。超純水可作為芯片生產的清洗用水,直接影響著芯片的良品率,是十分重要的步驟之一。
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