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超純水設備助力半導體產業全面復蘇

2023-01-19

  目前全球電子和半導體產業開始走向穩定的復蘇和增長,在汽車、5G通信、數據中心等關鍵市場,已經出現了比較明顯的快速增長跡象。

  用于半導體器件加工的硅片對純度有極高的要求,通常要達到99.999999999%。在半導體制造過程中,50%以上的工序直接與超純水接觸,需要化學處理的工序達80%以上,而化學處理后的超純水中的雜質會進入硅片,如引入過多雜質,就會導致器件性能下降,影響產品性能因此,制備高質量的超純水已成為大規模集成電路發展的重要前提。

超純水設備

  傳統的超純水生產工藝采用陰離子樹脂交換設備,在使用一段時間后要經常進行樹脂再生。隨著膜分離技術的不斷成熟,萊特萊德超純水設備設計了可靠、成熟、自動化程度高的兩級RO+EDI+拋光混床水處理工藝,保證了處理后的超純水水質符合要求,水的利用率高,運行可靠,經濟合理,大大節省了人力成本和維護成本,與其他同類產品相比,具有較高的性價比和設備可靠性。

  萊特萊德超純水設備可以連續穩定地制備高質量的超純水,不會因為樹脂再生而停止運行,設備內部還安裝了反滲透預脫鹽技術,這又從根本上保證了設備的出水質量,具有較高的環境和經濟效益,發展前景廣闊。

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