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超純水設(shè)備助力半導體元器件高質(zhì)量生產(chǎn)

2023-05-16

  電子元器件作為核心基礎(chǔ)零部件,是戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重點領(lǐng)域之一,也是支撐新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重點基礎(chǔ)產(chǎn)品。近年來,電子元器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展勢頭迅猛,產(chǎn)業(yè)規(guī)模與質(zhì)量效益同步實現(xiàn),為經(jīng)濟發(fā)展提供了強勁動力。

  電子元器件產(chǎn)業(yè)鏈的上游是原材料,主要包括光電材料、半導體材料、磁性材料等。在半導體生產(chǎn)中,超純水用于晶圓沖洗、化學稀釋、化工機械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕等多種場合,超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到半導體的良品率。萊特萊德超純水設(shè)備采用獨特的靶向離子交換系統(tǒng)去除超純水中的硼離子,可以將硼離子含量穩(wěn)定的控制在3PPT以下,采用獨有工藝可以控制在1PPT以下,同時連續(xù)穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的超純水。目前廣泛應(yīng)用于晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍、試劑稀釋、氟化工等領(lǐng)域。

超純水設(shè)備

  萊特萊德超純水設(shè)備是將反滲透系統(tǒng)、EDI裝置和拋光混床工藝,將水中的導電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度。超純水設(shè)備的EDI處理裝置廢水產(chǎn)出量少,不會對環(huán)境造成污染,具有非常高的環(huán)境效益和經(jīng)濟效益。精混床經(jīng)過技術(shù)升級后,無需任何操作即可穩(wěn)定運行,出水水質(zhì)可以滿足芯片生產(chǎn)用水的相關(guān)標準,降低企業(yè)的生產(chǎn)成本。

  萊特萊德超純水設(shè)備產(chǎn)出超純水滿足ASTM D5127-13中E1.3水質(zhì)指標,符合半導體元器件生產(chǎn)用水需求。萊特萊德超純水設(shè)備可以連續(xù)穩(wěn)定地制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水,助力半導體企業(yè)的發(fā)展,從而幫助企業(yè)提高市場競爭力。

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  編輯:虞美人 技術(shù):木子

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