近年來,中國的半導體產業發展迅速。作為科技產業的底層支撐和未來科技發展的基石,其發展趨勢受到了社會各界更多的關注,在智能電子、玩具、新能源汽車、人工智能等方向都有重要應用。由于半導體相關基礎設施的建設周期長、技術要求高,企業必須制定長期戰略,某些細分領域的企業爭相開發更優質的工藝,參與半導體產業市場競爭。為了進一步推進數字革命,需要更強大的計算和存儲能力,換句話說,需要更優質的芯片。制造更優質的芯片的基礎是使用更高的水質,而超純水已成為企業競爭的制勝法寶。
超純水的水質直接關系到半導體成品率
在半導體生產中,超純水可用于晶圓漂洗、化學稀釋、化學機械研磨、潔凈室環境的加濕源等。超純水的質量直接關系到半導體的成品率,隨著半導體元件尺寸的縮小和細度的提高,對超純水質量的技術要求也在不斷提高。
在超純水生產過程中,只要微粒子、電阻率和TOC與氣泡中的某一指標稍有差異,就會使半導體元件生產的合格率下降。
超純水設備發展前景廣闊
傳統的超純水制備工藝通常采用離子交換樹脂制備,但離子交換樹脂停止生產需要樹脂再生,高能耗也增加了勞動力成本。經過多年的實踐,超純水設備結合膜分離技術,利用反滲透結合EDI裝置制備超純水,出水電阻率可達18.2MΩ.cm(25℃),滿足半導體生產用水的需求。同時,設備還配備了反滲透預脫鹽技術,以確保設備的出水水質。同時,EDI處理裝置產生的廢水較少,不會污染環境,具有較高的環境效益和經濟效益,具有廣闊的發展前景。
超純水設備具有連續出水、無需酸堿再生和無人值守、安裝簡便、操作方便等優勢,出水水質符合電池用水相關標準,為半導體用水保駕護航。隨著超純水設備技術不斷完善,開啟了各行業生產發展的新局面。許多企業在生產過程中對水質純度有不同的要求,并得到了廣泛的應用,如清洗設備用水、精密產品生產用水、檢測用水等。
結語
作為半導體工業生產的重要基石,超純水設備是半導體制造端的重中之重。超純水設備改善了傳統工藝階段供水的缺點,配備了濃縮水置換的專業技術,防止微生物對膜系統的污染。通過完善的技術,提高系統回收率,降低能耗和運行成本。
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