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為什么半導(dǎo)體加工生產(chǎn)中會(huì)應(yīng)用到超純水?

2023-04-04

  我們都知道,半導(dǎo)體在加工生產(chǎn)的過(guò)程中會(huì)需要一定量的超純水,對(duì)于其品質(zhì)的要求也是極高的。那什么是超純水呢?超純水是指一種電阻率達(dá)到18 MΩ*cm的一種水,這類(lèi)水幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì),不含有任何細(xì)菌、病毒等有機(jī)物,完全可用在半導(dǎo)體領(lǐng)域。這樣的超純水普通工藝基本很難制取出來(lái),并且對(duì)于超純水制取的標(biāo)準(zhǔn)也是極其嚴(yán)格的。

  對(duì)比傳統(tǒng)超純水生產(chǎn)工藝,現(xiàn)如今應(yīng)用的超純水設(shè)備多是采用膜技術(shù),再應(yīng)用反滲透+EDI系統(tǒng)+拋光混床相結(jié)合的工藝來(lái)制取超純水,具有運(yùn)行成本低,運(yùn)行可靠的優(yōu)點(diǎn),出水水質(zhì)符合國(guó)家電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)GBT11446.1-2013EW-Ⅰ標(biāo)準(zhǔn)。

超純水設(shè)備

  超純水設(shè)備引人注目的優(yōu)點(diǎn):

  1、有效降低水質(zhì)的離子含量

  EDI是一種將離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)相結(jié)合的純水制造技術(shù),無(wú)需酸堿再生,是一種新型的脫鹽方式。EDI無(wú)需再生化學(xué)品的再生,運(yùn)行成本低,EDI系統(tǒng)的自動(dòng)化程度很高,連續(xù)工作,出水水質(zhì)好且穩(wěn)定,出水電阻率≥15MΩ·CM。

  2、高品質(zhì)高回收率

  設(shè)備采用曲線(xiàn)微導(dǎo)力技術(shù),應(yīng)用超純水膜元件,在拋光段采用陶氏進(jìn)口拋光樹(shù)脂以及自主研發(fā)的除硼專(zhuān)用樹(shù)脂,在保證系統(tǒng)高回收率的同時(shí),有效提高系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)。

  3、自動(dòng)化程度高、運(yùn)行費(fèi)用低

  自動(dòng)化程度高,遇故障立即自停,具有自動(dòng)保護(hù)功能,且能耗低、水利用率高、運(yùn)行成本低。

  超純水設(shè)備因其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)比較緊湊,占地面積小,可以為企業(yè)節(jié)省大量的空間得到了許多半導(dǎo)體行業(yè)的歡迎。可廣泛運(yùn)用于電子芯片、集成電路及封裝、光伏、晶圓、科研、航空航天、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。

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  編輯:柒柒 技術(shù):米

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