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探索超純水的絕對(duì)純度,滿足半導(dǎo)體行業(yè)用水需求

2022-11-15

  目前,我國(guó)國(guó)家電子級(jí)水(高純水)標(biāo)準(zhǔn)將“高純水”分為四個(gè)等級(jí),分別為電阻率18MΩ·cm以上、15MΩ·cm、12MΩ·cm、0.5MΩ·cm;美國(guó)ATSM根據(jù)超純水電阻率18.3MΩ·cm的理論極限值,將18.1MΩ·cm以上的超純水用水標(biāo)準(zhǔn)再細(xì)化為四個(gè)細(xì)分等級(jí),成為當(dāng)前電子和半導(dǎo)體行業(yè)常規(guī)參考的用水要求。

  由此可見,生產(chǎn)芯片的用水并非日常可見的自來(lái)水,或者是純凈水,半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)和清洗半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示器、高精度電路板、光電器件等各種電子器件的時(shí)候,都需要用到電阻率為18兆歐以上的超純水,這樣的超純水幾乎不導(dǎo)電,不會(huì)影響電子產(chǎn)品的性能,同時(shí)水中幾乎不含金屬離子,不會(huì)對(duì)復(fù)雜芯片表面造成劃痕或者不可逆的影響。當(dāng)集成電路的集成度越高,線寬越窄,對(duì)水質(zhì)的要求也就越高。

超純水設(shè)備

  超純水設(shè)備是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法,將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。萊特萊德超純水設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定地制備高質(zhì)量的超純水,不會(huì)因樹脂再生而停止運(yùn)行。設(shè)備內(nèi)部還安裝有反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),再次從根本上確保了設(shè)備的出水質(zhì)量。同時(shí),EDI處理裝置廢水產(chǎn)量少,不會(huì)污染環(huán)境,具有很高的環(huán)境效益和經(jīng)濟(jì)效益,具有廣闊的發(fā)展前景。

  伴隨芯片市場(chǎng)的崛起,也為超純工藝技術(shù)企業(yè)帶來(lái)廣闊的機(jī)遇與挑戰(zhàn),科技不斷探索超純水的絕對(duì)純度,產(chǎn)水水質(zhì)接近絕對(duì)純度,電導(dǎo)率無(wú)限接近18.24MΩ•厘米的理論極限值,其純度可達(dá)99.9999999999%,不斷滿足半導(dǎo)體行業(yè)日趨提升的用水需求。

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